Микромеханика на кремниевом кристаллеÄ
Из экзотических достижений современной микроэлектроники стоит отметить электромеханику на кристалле кремния (MEMS). Речь идет о создании механических защелок, поворотных зеркал, разнообразных механических резонаторов и прочих электромеханических устройств, реализованных на кристалле кремния методами современной микроэлектронной технологии.
Это сверхминиатюрные механические конструкции на кремнии обладают настолько ничтожным весом, что могут перемещаться, поворачиваться и колебаться с невероятно большими частотами, достигающими многих гигагерц. Тем самым открываются возможности создания принципиально новых устройств функциональной электроники, заменяющих громоздкие катушки индуктивности, кварцевые резонаторы, фильтры и прочие устройства аналоговой техники.
MEMS открывают возможности интеграции СБИС с разнообразным периферийным оборудованием, они могут выполнять функции лазерных проекторов изображений на большой экран, печатающих устройств и т.д. Могут создаваться электромеханические фильтры на основе MEMS, столь необходимые для устройств связи. MEMS могут выполнять функции микрохолодильников, различных датчиков, гироскопов, СВЧ- и оптических коммутаторов и др. устройств.
